三菱ガス化学〈4182〉は、傘下の台湾子会社(台中市)に、不純物を極力含まない高純度の過酸化水素水「超純過酸化水素(超純過水)」の製造設備を建設すると発表した。超純過水は半導体製造工程で洗浄や研磨に使われる。